日報掲載記事 · 2026-10-16

上海の展示会でEUV光源関連の試作品、量産性能は不明

中国

中央社記者は上海工業博覧会で朗道科技のEUV関連試作品を確認した。同社資料は2024年開始の光源開発計画を説明する一方、現場担当者は取材を断った。商用導入や量産性能を裏付ける情報は示されていない。

www.cna.com.tw · 2026-10-15

原記事・発表を見る ↗